| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einer Maßverkörperung, die entlang mindestens einer Messrichtung gegeneinander beweglich angeordnet sind. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle, eine erste kreisringförmige Abtastteilung, ein Reflektorelement, ein Strahlteilerelement sowie eine Detektionseinheit. Ein von der Lichtquelle emittiertes Strahlenbündel trifft auf die Messteilung auf, wo eine Aufspaltung in mindestens zwei Teilstrahlenbündel erfolgt. Die in Richtung der Abtasteinheit propagierenden Teilstrahlenbündel treffenüber die erste Abtastteilung auf das Reflektorelement auf und erfahren eine Reflexion in Richtung der Messteilung, wobei sie auf dem Weg zur Messteilung die erste Abtastteilung passieren. Nach der erneuten Beaufschlagung der Messteilung kommen die in Richtung Abtasteinheit propagierenden Teilstrahlenbündel zurÜberlagerung und erfahrenüber das Strahlteilerelement eine Umlenkung in Richtung Detektionseinheit. Dort sind mehrere positionsabhängige, phasenverschobene Abtastsignale erfassbar. Die erste Abtastteilung ist derart ausgebildet, dass darüber eine Fokussierung der auf sie von der Messteilung her einfallenden Teilstrahlenbündel auf das Reflektorelement erfolgt und dass darüber eine Rekollimation der Teilstrahlenbündel erfolgt, die nach der Reflexion am Reflektorelement in Richtung Messteilung propagieren.
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