发明名称 |
测试电路、晶圆、测量装置、元件制造方法以及显示装置 |
摘要 |
一种测试电路,包括:多个被测量晶体管,电性地并联设置;选择部,依次选择各个被测量晶体管;以及输出部,依次输出选择部所依次选择的被测量晶体管的源极电压。 |
申请公布号 |
CN101147264B |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN200580049186.9 |
申请日期 |
2005.07.04 |
申请人 |
国立大学法人东北大学 |
发明人 |
须川成利;寺本章伸 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L27/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁 |
主权项 |
一种测试电路,其特征在于其包括:多个被测量晶体管,电性地并联设置,所述多个被测量晶体管施加有栅极电压;选择部,依次选择各个被测量晶体管;以及输出部,将上述选择部依次选择的上述被测量晶体管的源极电压作为模拟的输出电压而依次输出。 |
地址 |
日本宫城县 |