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发明名称 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОП-ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
摘要
申请公布号 RU1292627(C) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 SU19853885901 申请日期 1985.04.19
申请人 Васильев С.С.;Петрунина Е.С.;Румак Н.В.;Хатько В.В.;Пухов В.И. 发明人 Васильев С.С.;Петрунина Е.С.;Румак Н.В.;Хатько В.В.;Пухов В.И.
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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