感测器组合

摘要

本发明属于感测技术领域。公开一种多功能的感测器组合，它包括一基板，在基板上设置有互补金属氧化物半导体图像感测器、陀螺仪、加速度计、声音感测器及射频感测器。本发明具有图像感测、声音感测、射频感测、加速度测量、角速度测量的功能，可用于移动电话、导航仪、个人数字助手、游戏机手柄。

主权项

一种感测器组合，其特征在于：其包括一基板，在所述基板上设置有互补金属氧化物半导体图像感测器、陀螺仪、加速度计、声音感测器及射频感测器，所述声音感测器包括振动膜层和背极板；所述基板包括第一部分和与所述第一部分间隔的第二部分；所述振动膜层包括悬置端、固定端和波纹结构；所述固定端固定在所述第一部分上，所述悬置端放置在所述第二部分之上，所述波纹结构形成于所述固定端与所述悬置端之间；在所述振动膜层边缘形成若干第一通气孔，所述振动膜层表面涂覆第一电极层；所述背极板具有边缘，所述边缘固定在所述基板的所述第一部分和所述第二部分上；所述背极板的内表面涂覆第二电极层；在所述背极板与所述振动膜层之间直接形成一空气层，且所述第二电极层与所述空气层接触，所述振动膜层与所述空气层接触；在靠近所述背极板的边缘形成若干第二通气孔；所述第一通气孔、所述第二通气孔与所述空气层贯通；若干声音孔形成在所述背极板的中心部分。