发明名称 一种激光脉冲单粒子效应模拟系统
摘要 本发明公开了一种激光脉冲单粒子效应模拟系统,属于集成电路辐射技术领域。该模拟系统包括超快激光脉冲发生系统、测试系统和控制器。该模拟系统利用压电陶瓷旋转台,通过压电陶瓷旋转台的旋转能力实现了激光在被测器件上进行精确扫描,克服了激光脉冲单粒子效应测试系统需要移动位移台及安装在其上的芯片才能实现扫描的问题。
申请公布号 CN102495355A 申请公布日期 2012.06.13
申请号 CN201110459433.X 申请日期 2011.12.31
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 曾传滨;高林春;毕津顺;罗家俊;韩郑生
分类号 G01R31/311(2006.01)I 主分类号 G01R31/311(2006.01)I
代理机构 北京市德权律师事务所 11302 代理人 刘丽君
主权项 一种激光脉冲单粒子效应模拟系统,其特征在于,包括超快激光脉冲发生系统、测试系统和控制器;所述超快激光脉冲发生系统包括超快激光器,电控衰减器,第Ⅰ分光片,照明光源,压电陶瓷旋转台,光学聚焦系统,相机,其中,所述压电陶瓷旋转台上装有第Ⅱ分光片,所述光学聚焦系统包括物镜;所述测试系统包括被测器件,第Ⅰ电控位移台,第Ⅱ直流电源,其中,所述被测器件设置于所述第Ⅰ电控位移台上;所述超快激光器产生的超快激光经过所述电控衰减器后能量衰减成具有工作能量的工作激光,所述工作激光经过所述第Ⅰ分光片后射到所述第Ⅱ分光片上,射到所述第Ⅱ分光片上的工作激光借助所述压电陶瓷旋转台实现光轴偏转并从所述第Ⅱ分光片射出,从所述第Ⅱ分光片射出的工作激光在所述光学聚焦系统的作用下于所述光轴上形成焦斑,进而所述工作激光在所述被测器件的水平面进行X/Y方向扫描,并使所述被测器件吸收所述工作激光能量后在不同X/Y位置产生单粒子效应信号;所述照明光源通过所述第Ⅰ分光片耦合到所述工作激光的光路上;所述被测器件由所述第Ⅱ直流电源供电; 所述控制器控制所述第Ⅰ电控位移台切换所述被测器件,从所述被测器件提取所述单粒子效应信号,控制所述第Ⅱ分光片,进而控制所述光轴与所述被测器件平面之间的角度。
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