| 发明名称 | 激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置及其测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明为激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置，解决已有装置结构复杂，对反射镜常数校正费时、费力的问题。主轴(22)与连接盘(21)固连，轴承座(8)与被测数控转台固连，与吸合圆盘(16)连接，与盘齿轮(18)固连，电磁铁(6)与连接盘(21)固连，与吸合圆盘(16)相对，步进电机座(19)与连接盘(21)固连，步进电机(5)的轴端与齿轮(17)固连，齿轮(17)与盘齿轮(18)啮合，角度反射镜(3)与连接盘(21)固连，激光头(1)发出的激光束经角度干涉模块(2)分成两路分别射向角度反射镜(3)，角度反射镜(3)返回的光束经角度干涉模块(2)射向激光头(1)，其信号经控制电箱(11)再送计算机(12)并转换为角度值，接收器(9)与计算机(12)连接，计算机(12)与控制电箱(11)连接，控制电箱(11)与步进电机(5)和电磁铁(6)连接。 | ||
| 申请公布号 | CN101797702B | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201010028151.X | 申请日期 | 2010.01.22 |
| 申请人 | 成都工具研究所 | 发明人 | 梁军;舒阳;黄宁秋;邓上;黄绍怡;薛梅;刘洋;邱易;李立群;余翔;羡一民;徐之江;乐海蓉 |
| 分类号 | B23Q17/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I | 主分类号 | B23Q17/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人 | 冯忠亮 |
| 主权项 | 激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置，激光头(1)和角度干涉模块(2)位置固定，激光头(1)发出的激光束经角度干涉模块(2)分成两路分别射向角度反射镜(3)，角度反射镜(3)返回光束经角度干涉模块(2)射向激光头(1)，其信号经控制电箱(11)再送计算机(12)并转换为角度值，其特征在于主轴(22)与连接盘(21)固连，主轴(22)位于轴承座(8)的轴承(30)内，主轴(22)与被测数控转台同心，轴承座(8)与被测数控转台固连，轴承座与吸合圆盘(16)连接，轴承座与盘齿轮(18)固连，电磁铁(6)与连接盘(21)固连，电磁铁与吸合圆盘(16)相对，步进电机座(19)与连接盘(21)固连，步进电机(5)的轴端与齿轮(17)固连，齿轮(17)与盘齿轮(18)啮合，角度反射镜(3)与连接盘(21)固连，连接盘(21)通过限位螺钉(32)与轴承座(8)连接，激光光源(7)固定于轴承座(8)，接收器(9)安装于固定位置并对准激光光源(7)，接收器(9)与计算机(12)连接，计算机(12)与控制电箱(11)连接，控制电箱(11)与步进电机(5)和电磁铁(6)连接。 | ||
| 地址 | 610056 四川省成都市府青路二段24号 | ||