一种用于三氯氢硅的浓硫酸干燥设备

摘要

本实用新型公开了一种用于三氯氢硅的浓硫酸干燥设备，一级5℃水石墨冷却器与二级-35℃盐水石墨冷却器连接，二级-35℃盐水石墨冷却器的出口端与三级-35℃盐水石墨冷却器连接，三级-35℃盐水石墨冷却器的出口端与一级雾沫分离器连接，一级雾沫分离器的出口端与二级雾沫分离器连接，二级雾沫分离器的出口端与石墨预热器连接，石墨预热器的出口端与干燥塔连接。本实用新型结构简单、安全可靠、安装拆卸方便，利用浓硫酸的强吸水性，将氯化氢气体中的水分含量降至50ppm以下，从而提高三氯氢硅的转化率；氯化氢气体中水分的减少，杜绝了水解物的生成，堵塞物减少，可减少后续冷凝设备的清理频次，提高生产效率、降低生产成本。

主权项

一种用于三氯氢硅的浓硫酸干燥设备，主要包括一级5℃水石墨冷却器（1），二级‑35℃盐水石墨冷却器（2）、三级‑35℃盐水石墨冷却器（3），一级雾沫分离器（4）、二级雾沫分离器（5），石墨预热器（6），干燥塔（7），浓硫酸高位槽（8），酸雾捕集器（9），板式冷却器（10），管道，废酸罐（11），废酸泵（12），循环泵（13），稀硫酸储罐（14），打酸泵（15），浓硫酸储槽（16），其特征在于：一级5℃水石墨冷却器（1）的出口端通过管道与二级‑35℃盐水石墨冷却器（2）的入口端连接，二级‑35℃盐水石墨冷却器（2）的出口端通过管道与三级‑35℃盐水石墨冷却器（3）的入口端连接，三级‑35℃盐水石墨冷却器（3）的出口端通过管道与一级雾沫分离器（4）的入口端连接，一级雾沫分离器（4）的出口端通过管道与二级雾沫分离器（5）的入口端连接，二级雾沫分离器（5）的出口端通过管道与石墨预热器（6）的入口端连接，石墨预热器（6）的出口端通过管道与干燥塔（7）的入口端连接，干燥塔（7）的出口端通过管道分别与浓硫酸高位槽（8），酸雾捕集器（9），板式冷却器（10）连接。