| 发明名称 | 一种用于太阳能电池的扩散方法 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种用于太阳能电池的扩散方法，包括：将硅片放入扩散炉中，升温至840°～850°；向扩散炉通入体积比为0.5∶1的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持840°～850°，时间t1为10～20分钟；向扩散炉通入体积比为0.7∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持850°～860°，时间t2为5～15分钟；向扩散炉通入体积比为1∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持860°～870°，时间t3为5～10分钟；扩散过程结束。本发明能够增大电池片的最大功率，有效地提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102487100A | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201010570371.5 | 申请日期 | 2010.12.02 |
| 申请人 | 浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 汪琴霞;郭建东;杨征;黄炯钰;梁慧珏;李玲玲 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;C30B31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种用于太阳能电池的扩散方法，其特征在于，包括：A、将硅片放入扩散炉中，升温至840°～850°；B、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为0.5∶1的小氮和氧气，同时通入预设含量扩散炉内温度保持840°～850°，时间t1为10～20分钟；C、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为0.7∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持850°～860°，时间t2为5～15分钟；D、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为1∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持860°～870°，时间t3为5～10分钟；E、扩散过程结束，在扩散炉降温后取出硅片。 | ||
| 地址 | 214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||