光学多轴线性位移测量系统及其方法

摘要

本发明系提供一种光学多轴线性位移测量系统及其方法，且该系统系可侦测到由一待测物之表面所反射的光，以致使获得该待测物之多轴线性位移。该光学多轴线性位移测量系统系利用一种用于获得该待测物之多轴线性位移之非接触式的光学方法，且其系可同时进行多轴线性位移测量。该系统及方法之优点包含：动态测量之高回应速度(频宽)、构造简单、成本低及位移测量之敏感度高。