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L'invention concerne un substrat verrier destiné à une utilisation en atmosphère humide, revêtu d'un empilement comprenant, par ordre d'éloignement croissant au substrat, - une couche de nitrure ou oxynitrure de silicium d'épaisseur comprise entre 10 et 90 nm, et - une couche de silice d'épaisseur comprise entre 10 et 90 nm et présentant une surface exposée à l'air ambiant. Elle concerne également le procédé de préparation d'un tel substrat, son utilisation et son application.
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