An abnormality detecting apparatus for detecting abnormarlity at interface portion of contact arm, An electronic device testing apparatus and An electronic device testing system with the same, and An abnormality detecting method

摘要

이상검출장치(200)는 TIM(167)의 화상 데이터를 취득하는 촬상장치(210)와, 촬상장치(210)에 의해 취득된 TIM(167)의 화상 데이터로부터 TIM(167)의 외관불량(167a)을 검출하는 불량검출부(241)와, 불량검출부(241)에 의한 검출결과에 기초하여, TIM(167)에 이상이 발생되고 있는지의 여부를 판단하는 판단장치(260)를 구비하고 있다.