制法报告卡框架和方法

摘要

提供一种用于执行制法评估的计算机实现的方法。该计算机实现的方法包括将多个数据源集成到单个制法报告卡框架。该制法报告卡框架包括编辑器，用以与该多个数据源交互。该计算机实现的方法还包括显示多个图表显示。该多个图表显示的每个图表显示配置为表示用于至少一个基片的一组信号参数的一个信号参数。该计算机实现的方法进一步包括为该组信号参数的每个提供多个准则。该计算机实现的方法又包括为该组信号参数的每个提供多个范围。该计算机实现的方法又进一步包括提供专家级指导，其配置为提供制法分析中的指导。

主权项

一种用于在基片处理系统中改善基片处理的制法的方法，所述方法由计算机来实现，包括：将多个数据源集成进单个制法报告卡框架，所述制法报告卡框架包括编辑器，用以与所述多个数据源交互；显示多个图表显示，所述多个图表显示的每个图表显示配置为表示用于至少一个基片的一组信号参数的一个信号参数；为该组信号参数的每个提供多个准则；为该组信号参数的每个提供多个范围；提供专家级指导，所述专家级指导配置为在分析制法中提供指导；和创建新的制法、修改和/或验证当前制法。