| 发明名称 |
ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING ADSORBED STATE OF WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2362415(A4) |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
| 申请号 |
EP20090811420 |
申请日期 |
2009.08.26 |
| 申请人 |
CREATIVE TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
FUJISAWA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/683;B23Q3/15;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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