利用液体泵与原料气瓶相结合制备超高纯气体的方法

摘要

一种利用液体泵与原料气瓶相结合制备超高纯气体的方法，属于高纯气体制备技术领域。工艺为：将原料气瓶供气排和液体泵供气管线三通并联，同时各管线上有分支阀门和压力表进行控制；首先将含量为≥99.995％的氩或氮气原料气瓶按照规程规定上排，对超高纯气体净化装置供气，超高纯气体净化装置对原料气进行催化氧化工序和干燥脱氧工序后，将原料气内的H2、CO、CH4以及O2、H2O和CO2杂质去除，成为含量为99.9999％的产品气体充入产品气瓶内，优点在于，实现了即可节约生产成本，降低原料气体放散，而且装置生产压力稳定、气体连续性好；同时，装置产品气体流速也保持稳定。

主权项

一种利用液体泵与原料气瓶相结合制备超高纯气体的方法，其特征在于，工艺为：将原料气瓶供气排和液体泵供气管线三通并联，同时各管线上有分支阀门和压力表进行控制；首先将含量为≥99.995％的氩或氮气原料气瓶按照操作规程规定上排，对超高纯气体净化装置供气，超高纯气体净化装置对原料气进行催化氧化工序和干燥脱氧工序后，将原料气内的H2、CO、CH4以及O2、H2O和CO2杂质去除，成为含量为99.9999％的产品气体充入产品气瓶内，当原料气压力显示与产品气压力显示一致时，停止原料气瓶的充气，关闭原料气排支管阀门，同时按照操作规程启动液体泵，当液体泵出口压力高于产品气瓶压力时，打开液体泵充气阀门对超高纯气体净化装置进行供气，超高纯气体净化装置对原料气进行催化氧化工序和干燥脱氧工序后；对产品气瓶充装，当产品气瓶压力显示≥135bar后，本次充装结束；所述的原料气必须达到匀速，同时原料气瓶压力降要保持在稳定的范围内；当原料气瓶排压力压力降为2～2.5bar/min，原料气进入净化装置的流速稳定在4～5m3/h范围内，保证超高纯气体净化装置进行原料气气体杂质净化工作的有效进行。