晶粒搬运双机械臂

摘要

本实用新型涉及一种晶粒搬运机械臂，包括前端设置有真空吸嘴快拆结构的前臂和固定在前臂后端的后臂；真空吸嘴快拆结构由一个真空吸嘴和一个真空吸嘴接头组成；在后臂的前端有一中空结构，前臂后部延伸段从后臂的此前端中空结构中穿过且不与后臂接触；在此前臂后部延伸段连接固定有一压力调节杆；在后臂此端上方固定一支撑板，支撑板上有一孔；前臂压力调节杆从此孔中穿出并可以在孔中自由滑动；该压力调节杆上螺纹连接有一压力调节螺母；同时在压力调节螺母下方有一弹簧穿在压力调节杆上，该弹簧可以与压力调节螺母及支撑板接触；后臂另一端的对应位置设有一相同机构。本实用新型的优点在于：结构简洁，调节方便，运动顺畅，符合经济效益，具有工业生产价值。

主权项

一种晶粒搬运双机械臂，包括前端设置有真空吸嘴快拆结构的前臂(411)和固定在前臂(411)后端的后臂(401)；所述真空吸嘴快拆结构由一个真空吸嘴(412)和一个真空吸嘴接头(413)组成；在所述后臂(401)的前端有一中空结构(417)，前臂后部延伸段(416)从所述后臂(401)的所述前端中空结构(417)中穿过且不与所述后臂(401)接触；在所述前臂后部延伸段(416)连接固定有一压力调节杆(403)；在所述后臂(401)此端上方固定一支撑板(407)，所述支撑板(407)上有一孔；所述前臂压力调节杆(403)从此孔中穿出并可以在孔中自由滑动；所述压力调节杆(403)上螺纹连接有一压力调节螺母(404)；同时在所述压力调节螺母(404)下方有一弹簧(410)穿在所述压力调节杆(403)上，所述弹簧(410)可以与所述压力调节螺母(404)及所述支撑板(407)接触；其特征在于：所述后臂(401)另一端的对应位置设有一相同机构。