| 发明名称 | 含有共聚物的感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明的课题是提供具有所需的特性的感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法是，一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：具有下述式(1)所示的结构单元和下述式(2)所示的至少1种结构单元的共聚物、以及(B)成分：感光剂。<img file="dda0000138545990000011.GIF" wi="1169" he="512" />(式中，2个X各自独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基，Y表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基；其中，该烷基、该环烷基、该苯基和该苄基的氢原子的一部分或全部可以被卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代)。 | ||
| 申请公布号 | CN102483570A | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201080038024.6 | 申请日期 | 2010.08.30 |
| 申请人 | 日产化学工业株式会社 | 发明人 | 岸冈高广 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;C08F226/06(2006.01)I;G02B1/04(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 段承恩;陈海红 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)成分和(B)成分：(A)成分：具有下述式(1)所示的结构单元和下述式(2)所示的至少1种结构单元的共聚物，以及(B)成分：感光剂，<img file="FDA0000138545960000011.GIF" wi="1142" he="506" />式中，2个X各自独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基，Y表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5或6的环烷基、苯基或苄基；其中，该烷基、该环烷基、该苯基和该苄基的氢原子的一部分或全部可以被卤原子、羧基、羟基、氨基或硝基取代。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||