低成本生长太阳能级硅单晶的装置

摘要

本实用新型涉及一种低成本生长太阳能级硅单晶的装置，它主要包括加热器、石墨坩埚、保温盖、保温筒、固化保温碳毡、炉底压盘、连接杆、导流罩。加热器外围处安装石墨第四导流罩，第四导流罩上安装第三导流罩；第四导流罩外安装石墨保温筒；石墨保温筒由石墨炉底压盘上的卡口定位，第二导流罩上沿由保温盖卡口定位，第一导流罩由保温盖定位。本实用新型通过改变导流罩的形状及其与熔融硅及各个部件的相对位置，调整氩气流动、降低无效的热传导和热辐射，使其能在低功耗下低氩气耗用下保证硅单晶的正常生长，缩短硅单晶的生长周期，降低了生长成本。

主权项

一种生长太阳能级硅单晶的装置，主要包括单晶炉、加热器、导流罩、石墨坩埚、保温盖、保温筒、固化保温碳毡、炉底压盘、连接杆，其特征在于：所述的导流罩包括第一导流罩、第二导流罩、第三导流罩、第四导流罩；加热器外围处安装石墨第四导流罩，第四导流罩上安装第三导流罩；第四导流罩外安装石墨保温筒；保温筒外面安装固化保温碳毡；石墨保温筒由石墨炉底压盘上的卡口定位，石墨保温筒上沿用于定位保温盖，第二导流罩上沿由保温盖卡口定位，第一导流罩由保温盖定位；石墨连接杆支撑石墨坩埚。