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发明名称
Lithographic apparatus and method of testing
摘要
申请公布号
EP1544677(B1)
申请公布日期
2012.05.30
申请号
EP20040078406
申请日期
2004.12.15
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.;ASML HOLDING N.V.
发明人
POULTNEY, SHERMAN;KOK, HAICO VICTOR
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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