激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法

摘要

一种激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法，该系统包括：i)母基板，在该母基板中形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向顺序布置；ii)台子，支撑母基板并沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动。该系统还包括：i)照射第一激光束的第一激光照射单元，第一激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度的宽度；ii)第二激光照射单元，与第一激光照射单元隔开并照射第二激光束，第二激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度的宽度，第一激光束对应第一显示区域在第一方向上的一侧的宽度且第二激光束对应第三显示区域在第一方向上的一侧的宽度。

主权项

一种激光结晶系统，包括：母基板，在该母基板中，第一、第二和第三显示区域沿第一方向被顺序布置，其中在所述第一、第二和第三显示区域的每个中形成有非晶半导体层；台子，被配置成支撑所述母基板并沿所述第一方向和沿垂直于该第一方向的第二方向移动；第一激光照射单元，被配置成照射第一激光束，该第一激光束具有大于或等于所述第一、第二和第三显示区域之一在所述第一方向上的一侧的宽度的宽度；和第二激光照射单元，与所述第一激光照射单元间隔开并且被配置成照射第二激光束，该第二激光束具有大于或等于所述第一、第二和第三显示区域之一在所述第一方向上的所述一侧的宽度的宽度，其中所述第一激光束对应于所述第一显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度，并且其中所述第二激光束对应于所述第三显示区域在所述第一方向上的一侧的宽度。