铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法

摘要

一种铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法，包含铜铟镓硒硫化合物制作步骤、铜铟镓硒粉末制作步骤、靶材初胚制作步骤、烧结步骤以及整型步骤，主要是依照原子比例，将铜、铟、镓、硒、硫的元素粉末以合成溶剂混合，再反应合成为铜铟镓硒硫化合物，再制作为铜铟镓硒靶材，或将作为五元靶材先驱物混合步骤的三元或四元化合物粉末混合，经过高压烧结而完成，以本发明铜铟镓硒靶硫五元材制作铜铟镓硒薄膜，可省略硒化、硫化步骤，以确保制程安全性，且该靶材的导电度适用直流溅镀及射频溅镀，能提升溅镀效率、形成无污染、成分均匀的铜铟镓硒硫薄膜。

主权项

一种铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法，包含：铜铟镓硒硫化合物制作步骤，是将铜、铟、镓、硒、硫的元素粉体与合成溶剂混合，以水热法在高于200℃的反应温度合成为原子比例的铜铟镓硒硫化合物；铜铟镓硒硫粉末制作步骤，包含球磨步骤以及干燥造粒步骤，该球磨步骤是将该铜铟镓硒硫化合物放置于含有研磨球的容器中，并加入至少一添加剂，以湿式球磨方式，将该铜铟镓硒硫化合物研磨为铜铟镓硒硫浆料，该干燥造粒步骤是将该铜铟镓硒硫浆料置入喷雾干燥机，将铜铟镓硒硫浆料瞬间干燥为粒径小于5μm的铜铟镓硒硫粉末；靶材初胚制作步骤，包含成型步骤、强化步骤以及脱腊步骤，该成型步骤是将该铜铟镓硒硫粉末以成型机压制为胚体，该强化步骤是将该胚体加压，使该胚体实密化，该脱腊步骤是将实密化的该胚体装设真空炉中，以去除该等增添剂的一部分，而形成烧结前的初胚；烧结步骤，是将该初胚装设于高温炉中，在真空环境或无氧环境下烧结，以形成烧结胚体；以及整型步骤，是将该烧结胚体表面的突起去除，并黏结导电背板，而完成铜铟镓硒硫五元靶材，其中该原子比例是CuxIn1‑yGay(SzSe1‑z)2，0.5≤x≤2，0≤y≤0.5，0≤z≤0.3，且该铜铟镓硒硫化合物为粉体状，且粒径小于400nm。