发明名称 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING AN ENERGY PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 KR20120052350(A) 申请公布日期 2012.05.23
申请号 KR20127004902 申请日期 2010.07.23
申请人 IONBEAM APPLICATIONS S.A. 发明人 PRIEELS DAMIEN
分类号 H01J47/02 主分类号 H01J47/02
代理机构 代理人
主权项
地址
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