多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法

摘要

本发明提供一种能够将多晶硅破碎为希望大小的块，并且能够防止来自破碎齿和辊外表面的杂质污染多晶硅块，得到高品质的多晶硅的多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法。所述多晶硅的破碎装置，在围绕平行的轴线相互反向旋转的一对辊(3)之间夹入块状的多晶硅以进行破碎，在辊(3)的外周面上径向向外突出设置有由硬质合金或硅材料形成的多个破碎齿(5)，并设置有在使破碎齿(5)插通于辊(3)上的状态下卷绕并覆盖辊(3)的外周面的树脂盖(45)。

主权项

一种多晶硅的破碎装置，在围绕平行的轴相互反向旋转的一对辊之间夹入块状的多晶硅以进行破碎，其特征在于，在所述辊的外周面上设置有径向向外突出的由硬质合金或硅材料形成的多个破碎齿，并设置有在使所述破碎齿插通于所述辊上的状态下卷绕并覆盖所述辊的外周面的树脂盖。