| 发明名称 | 曝光装置及元件制造方法 | ||
| 摘要 | 提供能掌握装置状态、防止液体流出或飞散的曝光装置。曝光装置(EX)具备：显示装置(D)，系显示以液体(LQ)充满曝光用光(EL)的光路空间(K1)时的进行状况、以及从光路空间(K1)去除液体(LQ)时的进行状况的至少一个。 | ||
| 申请公布号 | CN101002303B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN200580027131.8 | 申请日期 | 2005.12.06 |
| 申请人 | 尼康股份有限公司 | 发明人 | 中川智晶 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 任默闻 |
| 主权项 | 一种曝光装置，透过液体使曝光用光照射于基板上，使该基板曝光，其特征在于，具备：嘴构件，对该曝光用光的光路空间供应及回收该液体，且在与该基板之间保持该液体；传感器，设于该嘴构件，用以检测该液体的有无；以及显示装置，根据该传感器的检测结果，显示将该液体充满该曝光用光的该光路空间时的进行状况、以及从该光路空间回收该液体时的进行状况的至少一个。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||