| 发明名称 | 晶圆背面清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型的晶圆背面清洗装置包括平台以及设置于所述平台的冲洗帽，所述冲洗帽设有至少两个清洗液喷嘴，所述至少两个清洗液喷嘴沿同一圆周均匀分布，且所述至少两个清洗液喷嘴的流量相同。本实用新型的晶圆背面清洗装置能均匀喷射出清洗液，防止晶圆背面厚度不均匀增长。 | ||
| 申请公布号 | CN202224393U | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201120375489.2 | 申请日期 | 2011.09.28 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 王磊 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆背面清洗装置，包括平台以及设置于所述平台中央的冲洗帽，其特征在于，所述冲洗帽设有至少两个清洗液喷嘴，所述至少两个清洗液喷嘴沿同一圆周均匀分布，且所述至少两个清洗液喷嘴的流量相同。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||