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发明名称 PROTECTIVE MEMBER FOR INNER SURFACE OF CHAMBER AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1081749(B1) 申请公布日期 2012.05.23
申请号 EP19990918295 申请日期 1999.04.27
申请人 TOKAI CARBON COMPANY, LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HAINO, KAZUYOSHI;KAZAMA, KOICHI
分类号 H01L21/205;H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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