发明名称 晶锭开方机及其移载装置
摘要 一种晶锭开方机及其移载装置,其特征在于:等距复数圆锯片于转轴上,并藉由动力源驱动旋转,同时输送台承座上之晶锭承载治具,系设在该圆锯片下方,并相对于该圆锯片之切割方向前后位移,俾使承座上之晶锭通过该圆锯片,进而将晶锭迅速切割。再者,本创作之晶锭开方机,可以再结合一移载装置以回转方式,对晶锭进行两段式切割,第一段线性切割,再转向90°,回转至输送台于该圆锯片下方,进行第二段线性切割,且于切割移动中承载治具上之晶锭,可达迅速一次切割晶锭成数块之功效。
申请公布号 TWM429981 申请公布日期 2012.05.21
申请号 TW100223212 申请日期 2011.12.09
申请人 谭凯元 新北市莺歌区育德街15之4号9楼 发明人 谭凯元
分类号 H01L21/304;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 何崇熙 桃园县桃园市大有路489号12楼之2
主权项
地址 新北市莺歌区育德街15之4号9楼
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