半导体元件及其制造方法

摘要

一种半导体元件的制造方法。首先，于基底的第一区上形成一第一电极。然后，于基底上形成介电层，介电层覆盖第一电极。接着，于第一区上的介电层中形成多个开口。然后，于基底上形成导电层，导电层覆盖介电层以及开口。而后，移除开口底部的导电层，以形成第二电极。继之，移除第二电极与第一电极之间的介电层。