发明名称 | 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法,包括以下步骤:根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面;利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接,形成通讯网络;IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据,并将数据映射到GUI平台的通用数据层;GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理,实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制,提高了晶圆制造设备的集群监控能力,可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置,使整个生产过程能在短时间内快速组态,保证生产提前启动的需要。 | ||
申请公布号 | CN102455910A | 申请公布日期 | 2012.05.16 |
申请号 | CN201110052825.4 | 申请日期 | 2011.03.04 |
申请人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明人 | 于海斌;徐皑冬;刘明哲;李正;王锴;金妮;张吉龙 |
分类号 | G06F9/44(2006.01)I | 主分类号 | G06F9/44(2006.01)I |
代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 李晓光 |
主权项 | 一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法,其特征在于包括以下步骤:根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面;利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接,形成通讯网络;IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据,并将数据映射到GUI平台的通用数据层;GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理,实现IC装备控制软件的GUI平台化。 | ||
地址 | 110016 辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号 |