硫化镉和碲化镉的混和溅射靶以及它们使用的方法

摘要

本发明名称为“硫化镉和碲化镉的混和溅射靶以及它们使用的方法”。一般地公开了混和靶(64)，用于溅射硫化镉和碲化镉的混合层(19)。混和靶(64)可包括硫化镉和碲化镉。还提供了形成混和靶(64)的方法。例如，可从粉末状硫化镉和粉末状碲化镉形成粉末状混和物，并且将该混和物压入到混和靶(64)中。还一般地公开了用于制造具有混合层(19)的、基于碲化镉的薄膜光伏器件(10)的方法。例如，硫化镉和碲化镉的混和靶(64)可直接溅射在硫化镉层(18)上，以形成混合层(19)，并且可在混合层(19)上形成碲化镉层(20)。

主权项

一种用于溅射硫化镉和碲化镉的混合层(19)的混和靶(64)，所述混和靶(64)包括：硫化镉；以及碲化镉，其中，所述混和靶(64)配置成溅射以形成混合硫化镉和碲化镉的薄膜层(19)。