发明名称 存储器单元,存储器阵列以及形成它们的方法
摘要 从一些方面,提供了一种形成存储器单元的方法,该方法包括(1)在衬底上方形成第一导体;(2)在第一导体上方形成二极管;(3)利用选择性沉积工艺在第一导体上方形成可逆电阻切换元件;以及(4)在二极管和可逆电阻切换元件上方形成第二导体。还提供了许多其它方面。
申请公布号 CN101720506B 申请公布日期 2012.05.16
申请号 CN200880022647.7 申请日期 2008.06.27
申请人 桑迪士克3D公司 发明人 A·谢瑞克;S·B·赫纳;M·科内维奇
分类号 H01L27/10(2006.01)I 主分类号 H01L27/10(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种形成存储器单元的方法,该方法包括:在衬底上方形成控向元件;利用选择性沉积工艺形成耦连到所述控向元件的可逆电阻切换元件。
地址 美国加利福尼亚州
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