激光照射装置、激光照射方法及绝缘膜形成装置

摘要

本发明提供一种激光照射装置、激光照射方法及绝缘膜形成装置。其优质地形成抗蚀剂图形。本发明的激光照射装置，具有：射出脉冲激光束的激光光源；保持基板的载物台；在被保持于载物台的基板上涂布抗蚀剂材料的涂布装置；将从激光光源射出的脉冲激光束聚光于通过涂布装置涂布的抗蚀剂材料上并进行传播，且使传播位置的抗蚀剂材料固化的第1传播光学系统；将从激光光源射出的脉冲激光束传播至通过由第1传播光学系统传播的脉冲激光束固化的抗蚀剂材料上，并去除传播位置的抗蚀剂材料的第2传播光学系统；及使从激光光源射出的脉冲激光束选择性地入射至第1传播光学系统或第2传播光学系统的光路切换装置。

主权项

一种激光照射装置，具有：射出脉冲激光束的激光光源；保持基板的载物台；将抗蚀剂材料涂布在被保持于所述载物台的基板上的涂布装置；第1传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束聚光于通过所述涂布装置涂布了的所述抗蚀剂材料上而进行传播，使传播位置的所述抗蚀剂材料固化；第2传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束传播至通过由所述第1传播光学系统传播的脉冲激光束固化了的所述抗蚀剂材料上，去除传播位置的所述抗蚀剂材料；及光路切换装置，使从所述激光光源射出的脉冲激光束选择性地入射至所述第1传播光学系统或所述第2传播光学系统。