涂布和显影装置以及方法

摘要

本发明提供一种涂布和显影装置以及方法，在前一批的基板与后一批的基板之间变更加热模块的加热处理温度时提高吞吐量。将输送时间表制作成以下表：在从将前一批的最后的基板传送到处理部之后到将后一批的最初的基板传送到处理部为止，空出以下延迟周期数的周期，该延迟周期数是将整定处理所需时间除以作为执行一个输送周期时所需的最大时间的周期时间而得到的周期数，在结束规定的执行周期之后开始下一个周期之前，对每个整定对象模块求出用于执行下一个周期的适当时间，将它们中最长的适当时间与执行周期的执行时间进行比较，在适当时间较长时，控制主臂使得主臂待机相当于适当时间与执行时间之差的时间而开始执行周期的下一个周期。

主权项

一种涂布和显影装置，具有：载体载置部，其载置容纳有多个基板的载体，具备与载体之间进行基板的传送的传送单元；以及处理部，其用于在从该载体载置部传送的基板上形成涂布膜，并且对曝光后的基板进行显影，在上述处理部中，由基板输送单元将基板输送到对基板进行调温的调温模块、将涂布液涂布到基板上的涂布模块、对基板进行加热的加热模块、对基板进行显影处理的显影模块，当将放置上述基板的位置称为模块时，根据预先设定的输送时间表，通过基板输送单元形成序号较小的基板比序号较大的基板位于更靠下游侧的模块的状态，由此执行完毕一个输送周期，在该输送周期执行完毕之后，执行下一个输送周期，由此进行基板的输送，该涂布和显影装置的特征在于，具备以下部分：整定对象模块，其由上述涂布模块或加热模块构成，在该模块中对从一个载体排出的前一批的基板结束涂布处理或加热处理之后到后一批的基板被输送到该模块之前，在该模块中进行整定处理；制作输送时间表的单元，其将上述输送时间表制作成以下表：在上述输送时间表中，从将前一批的最后的基板传送到上述处理部之后到将上述后一批的最初的基板传送到上述处理部为止，空出以下延迟周期数的周期，该延迟周期数是将上述整定处理所需的时间除以作为执行一个输送周期时所需的最大时间的周期时间而得到的周期数；以及控制单元，其在所制作的上述输送时间表中，结束执行周期并且在开始下一个周期之前，对每个整定对象模块求出用于执行下一个周期的适当时间，将它们中最长的适当时间与用于执行上述执行周期的执行时间进行比较，在上述适当时间较长的情况下，控制基板输送单元使得上述执行周期的下一个周期的开始待机相当于上述适当时间与上述执行时间之差的时间，其中，上述执行周期是在结束时刻在上述整定对象模块中进行了整定处理且存在整定处理的剩余时间的周期。