一种碳化硅切割液及其使用方法

摘要

本发明公开了一种碳化硅切割液及其使用方法，通过采用多酚类化合物添加入PEG切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液其中一种中，可起到清除多线切割过程中少量PEG、二甘醇和多胺醇裂解产生的自由基的作用，阻止发生自由基链式反应，从而稳定整体其分子结构和分子量。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高，能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。

主权项

一种碳化硅切割液，含有聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中的一种，其特征在于，还含有多酚类化合物。