发明名称 |
清洗装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种清洗装置,用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管,该种清洗装置包括倒U型水管架,所述倒U型水管架上设有进水管、进酸管、水泵、杂质过滤器、排水管以及两波纹管,所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体,所述待清洗管两端分别通过两连接件与两波纹管密封连接,所述待清洗管与倒U型水管架构成循环流路。本实用新型的优点是结构简单,成本低,提高生产效率,降低劳动力,清洗效果好。 |
申请公布号 |
CN202207682U |
申请公布日期 |
2012.05.02 |
申请号 |
CN201120294140.6 |
申请日期 |
2011.08.12 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
曹肖肖;巩雨锋 |
分类号 |
B08B9/027(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B9/027(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种清洗装置,用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管,其特征在于:包括水管架,水管架上设有进水管、进酸管、排水管、水泵、杂质分离器以及两波纹管,所述待清洗管与波纹管连接并与水管架构成循环流路,所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |