发明名称 清洗装置
摘要 本实用新型涉及一种清洗装置,用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管,该种清洗装置包括倒U型水管架,所述倒U型水管架上设有进水管、进酸管、水泵、杂质过滤器、排水管以及两波纹管,所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体,所述待清洗管两端分别通过两连接件与两波纹管密封连接,所述待清洗管与倒U型水管架构成循环流路。本实用新型的优点是结构简单,成本低,提高生产效率,降低劳动力,清洗效果好。
申请公布号 CN202207682U 申请公布日期 2012.05.02
申请号 CN201120294140.6 申请日期 2011.08.12
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 曹肖肖;巩雨锋
分类号 B08B9/027(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 主分类号 B08B9/027(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种清洗装置,用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管,其特征在于:包括水管架,水管架上设有进水管、进酸管、排水管、水泵、杂质分离器以及两波纹管,所述待清洗管与波纹管连接并与水管架构成循环流路,所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体。
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