发明名称 一种上下分体直拉单晶坩埚
摘要 本实用新型提出一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。本实用新型通过将坩埚分成坩埚壁和坩埚底上下两部分,有效减小了过渡部分“R”部的应力,避免了单晶炉在单晶硅生长过程中的,石墨坩埚开裂的现象,从而有效的提高了坩埚的寿命。同时,由于上下部分采用不同的材料,有效减少碳碳复合材料的使用,节约了成本。
申请公布号 CN202208775U 申请公布日期 2012.05.02
申请号 CN201120305210.3 申请日期 2011.08.22
申请人 上海东洋炭素有限公司 发明人 詹国彬;黄建明;李西维
分类号 C30B15/10(2006.01)I 主分类号 C30B15/10(2006.01)I
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人 王光辉
主权项 一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。
地址 201611 上海市松江区新飞路486号