发明名称 | 一种上下分体直拉单晶坩埚 | ||
摘要 | 本实用新型提出一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。本实用新型通过将坩埚分成坩埚壁和坩埚底上下两部分,有效减小了过渡部分“R”部的应力,避免了单晶炉在单晶硅生长过程中的,石墨坩埚开裂的现象,从而有效的提高了坩埚的寿命。同时,由于上下部分采用不同的材料,有效减少碳碳复合材料的使用,节约了成本。 | ||
申请公布号 | CN202208775U | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
申请号 | CN201120305210.3 | 申请日期 | 2011.08.22 |
申请人 | 上海东洋炭素有限公司 | 发明人 | 詹国彬;黄建明;李西维 |
分类号 | C30B15/10(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/10(2006.01)I |
代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
主权项 | 一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。 | ||
地址 | 201611 上海市松江区新飞路486号 |