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发明名称 Apparatus and method for producing films
摘要
申请公布号 EP1988188(B9) 申请公布日期 2012.05.02
申请号 EP20080012197 申请日期 2002.12.03
申请人 JP 发明人 JP;JP;JP;JP;JP
分类号 C23C16/455;B01F3/02;B01F5/02;B01J4/00;B01J10/02;B01J19/24;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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