| 摘要 |
一种在遭受冲击时提供一改良晶圆限制效果之晶圆容器，在本发明之实施例中，一辅助晶圆限制结构界定复数个凹口，该限制结构插置于相对的晶圆限制件之间，晶圆限制件设于晶圆容器之容器门上，该等凹口可由一个或多个交会于接合点之收歛边缘或收歛面所界定，该接合点之设置系对齐相对之晶圆限制件之晶圆接受部，因此当容器门完全密封于容器周缘时，晶圆之边缘部份接触该接合点。在此位置，任何对于容器的冲击所造成之晶圆垂直位移会使晶圆接触收歛面或收歛边缘，进而限制上述位移。该辅助晶圆限制结构系设置于主要晶圆限制的邻近相对指部之间，以限制晶圆在支撑点间的偏斜，藉此可防止晶圆跳脱支撑点，甚而产生沟槽间之交叉错置。 |
