发明名称 COMPONENT OF QUARTZ GLASS FOR USE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 IL194990(A) 申请公布日期 2012.04.30
申请号 IL20080194990 申请日期 2008.10.30
申请人 HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO, LTD.;JUERGEN WEBER;TATSUHIRO SATO;RALF SCHNEIDER,;ACHIM HOFMANN;CHRISTIAN GEBAUER 发明人 JUERGEN WEBER;TATSUHIRO SATO;RALF SCHNEIDER,;ACHIM HOFMANN;CHRISTIAN GEBAUER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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