一种真空灭弧室的纳秒连续脉冲老炼装置及其方法

摘要

本发明涉及一种真空灭弧室的纳秒连续脉冲老炼装置及其方法，该装置包括控制系统、直流电源、储能单元、形成网络、触发单元和控制开关部分；控制系统连接至直流电源和触发单元，直流电源输出端连接储能单元，触发单元连接控制开关，储能单元和形成网络连接，形成网络通过限流单元对真空灭弧室输出脉冲电压；控制单元连接至储能单元上；真空灭弧室的下部设调节装置。本发明的方法通过调整单次放电过程的能量，并控制单位时间内的放电次数，实现老炼程度及老炼趋势的控制，提高真空灭弧室的老炼均匀度。本发明采用纳秒级连续脉冲源作为真空灭弧室的老炼电源。通过控制单脉冲放电能量、连续脉冲的重复频率和作用时间，达到真空灭弧室的最佳老炼效果。

主权项

一种真空灭弧室的纳秒连续脉冲老炼装置，其特征在于，包括控制系统(1)、直流电源(2)、储能单元(3)、形成网络(4)、触发单元(5)和控制开关部分(6)；所述控制系统(1)分别连接至直流电源(2)和触发单元(5)，直流电源(2)的输出端连接储能单元(3)，触发单元(5)连接控制开关(6)，储能单元(3)和形成网络(4)连接，形成网络(4)通过限流单元(7)对真空灭弧室(8)输出脉冲电压；所述控制单元(6)还连接至储能单元(3)上；所述真空灭弧室(8)的下部设置有调节装置(9)；所述控制单元(1)控制直流电源(2)的通断、调节直流电源(2)的电压幅值给储能单元(3)进行充电；并设定触发单元(5)的动作频率及连续脉冲持续时间；所述控制开关部分(6)接受触发单元(5)的动作指令，并控制储能单元(3)产生脉冲，所述储能单元(3)对形成网络(4)中的脉冲变压器原边直接放电产生脉冲电压；该脉冲经形成网络(4)产生单向的纳秒脉冲，产生的纳秒脉冲经限流单元(7)后加载于真空灭弧室(8)。