使用散斑抑制元件上的小透镜排列的光学投影系统

摘要

在一种包括图像形成系统(12)、中继系统(18)、散斑抑制元件(40)和投影子系统(20)的相干光投影系统中，中继系统可以具有第一f数，投影子系统可以具有小于第一f数的第二f数。中继系统可以具有第一工作距离(Wa)，投影子系统可以具有小于第一工作距离的第二工作距离(Wb)。图像形成系统可以投影具有第一尺寸的初始图像，中间像可以具有大于或等于第一尺寸的第二尺寸。散斑抑制元件可以具有通过其来传递中间像的弯曲表面。散斑抑制元件可以包括形成在其表面上的小透镜排列(44)。散斑抑制元件可以在与散斑抑制元件的光轴平行的方向上移动。

主权项

一种相干光投影系统，包括：相干光源系统，其至少被配置为发射相干光；图像形成系统，其至少被配置为以符合图像数据的方式与相干光相互作用；中继系统，其至少被配置为从来自于所述图像形成系统的相干光输出在中间像平面处形成中间像，所述中间像为空间实像；散斑抑制元件，其位于或基本位于所述中间像平面处，所述散斑抑制元件包括形成在所述散斑抑制元件的表面上的小透镜排列，所述小透镜排列包括小透镜，每个小透镜具有孔径，其中全部或基本全部的小透镜孔径中的每一个均大于或等于所述中间像平面处的所述中间像的像素的尺寸；运动产生系统，其至少配置为当所述中间像通过所述散斑抑制元件的所述小透镜排列传递时移动所述散斑抑制元件并且使所述中间像的成像光转向；以及投影子系统，其至少被配置为当所述中间像通过移动的散斑抑制元件传递时投影所述中间像的转向的成像光。