| 摘要 |
1. Элемент, покрытый твердым материалом и имеющий несколько слоев, нанесенных методом химического парофазного осаждения, отличающийся тем, что внешний слой содержит Ti1-xAlxN, Ti1-xAlxC и/или Ti1-xAlxCN, где 0,65≤x≤0,9, предпочтительно 0,7≤x≤0,9, причем этот слой имеет сжимающие напряжения в диапазоне от 100 до 1100 МПа, предпочтительно от 400 до 800 МПа, при этом под внешним слоем расположен слой TiCN или Al2O3. ! 2. Элемент по п.1, отличающийся тем, что слой Ti1-xAlxN, слой Ti1-xAlxC или слой Ti1-xAlxCN состоит из одной фазы и имеет кубическую структуру, или состоит из нескольких фаз и содержит наряду с кубической основной фазой другую фазу с вюрцитовой структурой, и/или содержит TiN. ! 3. Элемент по п.1 или 2, отличающийся тем, что во внешнем слое содержится до 30 мас.% аморфных компонентов слоя. ! 4. Элемент по п.1, отличающийся тем, что содержание хлора во внешнем слое находится в диапазоне от 0,01 до 3 ат.%. ! 5. Элемент по п.1, отличающийся тем, что внешний слой содержит несколько слоев, причем каждый из них имеет толщину от 1 до 5 нм и одинаковый или изменяющийся, предпочтительно, периодический состав, выбранный среди Ti1-xAlxN, Ti1-xAlxC или Ti1-xAlxCN, при этом этот внешний слой имеет общую толщину от 1 мкм до 5 мкм. ! 6.Элемент по п.1, отличающийся тем, что общая толщина всех слоев, нанесенных на тело подложки, сформированной из твердого сплава, металлокерамики или керамики, находится в диапазоне от 5 мкм до 25 мкм. ! 7. Элемент по п.1, отличающийся тем, что слой Ti1-xAlxN, слой Ti1-xAlxC или слой Ti1-xAlxCN содержит до 25% гексагонального AlN. |
