等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种妥善地抑制RF天线内的波长效应并且在圆周方向上和直径方向上容易地实现均匀的等离子体工序的电感耦合型等离子体处理装置。在该电感耦合型等离子体处理装置中，为了生成电感耦合等离子体，在电介质窗(52)上设置的RF天线(54)在直径方向上分割为内侧线圈、中间线圈和外侧线圈(62)。内侧线圈(58)具有单一或串列地连接的内侧线圈段(59)。中间线圈(60)在圆周方向被分割，具有并联电连接的2个中间线圈段(61(1))、(61(2))。所述外侧线圈(62)在圆周方向被分割，具有并联电连接的3个外侧线圈段(63(1))、(63(2))、(63(3))。

主权项

一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：具有电介质窗的处理容器；基板保持部，其在所述处理容器内保持被处理基板；处理气体供给部，其为了对所述基板实施希望的等离子体处理，而向所述处理容器内供给希望的处理气体；RF天线，其为了在所述处理容器内通过电感耦合来生成处理气体的等离子体，而设置在所述电介质窗之外；高频供电部，其向所述RF天线供给适合所述处理气体的高频放电的频率的高频电力，所述RF天线具有在直径方向隔有间隔地分别配置于内侧、中间和外侧的内侧线圈、中间线圈和外侧线圈，所述内侧线圈具有单一或串联连接的内侧线圈段(coil segment)，所述中间线圈，在圆周方向被分割，具有并联电连接的多个中间线圈段，所述外侧线圈，在圆周方向被分割，具有并联电连接的多个外侧线圈段。