Vorrichtung zum Erzeugen eines Elektronenstrahls

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Elektronenstrahls, umfassend ein Gehäuse (12), welches einen evakuierbaren Raum (13) begrenzt und eine Elektronenstrahlaustrittsöffnung aufweist; einen Einlass (16) für das Zuführen eines Arbeitsgases in den evakuierbaren Raum (13); eine flächige Kathode (14) und eine Anode (15), die im evakuierbaren Raum (13) angeordnet sind und zwischen denen mittels einer angelegten elektrischen Spannung ein Glimmentladungsplasma erzeugbar ist, wobei Ionen aus dem Glimmentladungsplasma auf die Oberfläche der Kathode (14) beschleunigbar sind. Die Kathode weist einen aus einem ersten Material bestehenden ersten Teil (14a) auf, der einen zentral angeordneten ersten Oberflächenbereich der Kathode (14) ausbildet, sowie einen aus einem zweiten Material bestehenden zweiten Teil (14b), der einen zweiten Oberflächenbereich der Kathode (14) ausbildet, welcher den ersten Oberflächenbereich umschließt. Das erste Material ist durch das Beaufschlagen mit beschleunigten Ionen auf eine Temperatur erhitzbar, bei der Elektronen überwiegend durch Glühemission aus dem ersten Material heraustreten.