单晶坩埚专用烘箱

摘要

本实用新型公开一种单晶坩埚专用烘箱，其包括箱体和铰接于箱体上的密封门，所述箱体的底部设置有耐高温支撑架，且所述箱体除顶部外的其他内壁上均匀设置有若干个红外线加热单元，所述密封门的内壁上也设置有若干个红外线加热单元，所述红外线加热单元和电控箱电性连接。上述所述单晶坩埚专用烘箱于箱体内设置红外线加热单元，利用红外线进行加热，同时采用围绕坩埚结构的立体加热，不仅有效地避免了烘烤过程中的二次污染，而且加热均匀，烘烤后坩埚的质量可靠。

主权项

一种单晶坩埚专用烘箱，其包括箱体和铰接于箱体上的密封门，其特征在于：所述箱体的底部设置有耐高温支撑架，且所述箱体除顶部外的其他内壁上均匀设置有若干个红外线加热单元，所述密封门的内壁上也设置有若干个红外线加热单元，所述红外线加热单元和电控箱电性连接。