发明名称 TECHNIQUE FOR CREATING DIFFERENT MECHANICAL STRESS IN DIFFERENT CHANNEL REGIONS BY FORMING AN ETCH STOP LAYER HAVING DIFFERENTLY MODIFIED INTRINSIC STRESS
摘要
申请公布号 KR101134157(B1) 申请公布日期 2012.04.09
申请号 KR20067025068 申请日期 2005.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/8234 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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