ELLIPSOMETER

摘要

Ellipsometer zur Untersuchung einer Probe (2, 3), mit einem Beleuchtungsstrahlengang (4), der ausgebildet ist, die Probe (2, 3) mit Beleuchtungsstrahlung (10) bestimmter Polarisation und Divergenz (w) unter einem bestimmten Winkel (a) zu beleuchten, einem Meßstrahlengang (5), der ausgebildet ist, an der Probe (2, 3) in einen Reflexwinkelbereich (u) oder Reflexortsbereich reflektierte Beleuchtungsstrahlung (1 0) als divergierendes Reflexstrahlungsbündel (11) aufzusammeln und hinsichtlich spektraler Zusammensetzung und Polarisationszustand zu analysieren, wobei der Meßstrahlengang (5) aufweist: ein Spektrometer (13), in das das Reflexstrahlungsbündel (11) eingekoppelt ist und das das Reflexstrahlungsbündel (11) spektral aufgliedert, einen im Spektrometer (13) angeordneten 2D-Detektor (15) und eine Polarisatoreinrichtung, die dem Detektor (15) vorgeordnet ist, und die das Reflexstrahlungsbündel (11) vor der spektralen Zerlegung abhängig vom Polarisationszustand räumlich filtert, wobei das Spektrometer (13) einen längs erstreckten Eintrittsspalt (17) aufweist, der Meßstrahlengang (5) eine Einrichtung zum Sammeln (12) aufweist, welche das Reflexstrahlenbündel (11) aufsammelt und zum Eintrittsspalt (17) des Spektrometer (13) leitet, und das Spektrometer (13) das Reflexstrahlungsbündel (11) quer zur Ausbreitungsrichtung des Reflexstrahlungsbündels (11) und quer zur Längserstreckung des Eintrittspaltes (17) spektral zerlegt auf den Detektor (15) lenkt, wobei die Polarisatoreinrichtung mehrere Gruppen (G1-Gn), jeweils mit mehreren unterschiedlichen Polarisatoren (18-21), umfaßt, die jeweils das Reflexstrahlungsbündel (11) hinsichtlich unterschiedlicher Polarisationszustände filtern, wobei die Gruppen (G1-Gn) wie auch die Polarisatoren (18-21) in den Gruppen (G1-Gn) nebeneinander auf dem Eintrittsspalt (17) oder im Eintrittsspalt (17) des Spektrometers (15) angeordnet sind, die Einrichtung zum Sammeln (12) das Reflexstrahlungsbündel (11) abhängig vom Reflexwinkel oder Reflexort auf die Gruppen (G1-Gn) verteilt und so auf den Eintrittsspalt (17) leitet, daß längs der Längserstreckung des Eintrittsspaltes (17) der Reflexwinkel oder Reflexorte variiert.