光调制器像素单元及其制作方法

摘要

本发明提供了一种光调制器像素单元，包括形成于衬底上的顶部电极、可动电极和底部电极；在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，当可动电极位于第一位置时，第一光线在顶部电极处发生衍射；当可动电极位于第二位置时，第二光线在顶部电极处发生衍射；当可动电极位于第三位置时，第三光线在顶部电极处发生衍射。所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线。本发明的光调制器像素单元能够调制三种颜色光线，适用于微显示系统。

主权项

一种光调制器像素单元，其特征在于，包括：衬底；底部电极，所述底部电极与控制电路的第一控制端电连接；顶部电极，位于所述衬底上，所述顶部电极与控制电路的第三控制端电连接，所述顶部电极为光栅，所述光栅包括至少两个栅条和位于相邻栅条之间的栅孔，所述栅条远离底部电极的表面为光线反射面；可动电极，位于所述底部电极与顶部电极之间，所述可动电极与控制电路的第二控制端电连接，所述可动电极面向顶部电极的表面为光线反射面，所述可动电极能够沿垂直于光线反射面的方向移动，所述可动电极与顶部电极之间以及所述可动电极与底部电极之间具有电绝缘材料；所述顶部电极、可动电极、底部电极位置相对应，所述可动电极面积小于顶部电极的面积，在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置和第三位置，当可动电极位于第一位置时，入射至光调制器像素单元的第一光线的透过顶部电极的栅孔并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生衍射；当可动电极在第二位置时，入射至光调制器像素单元的第二光线透过顶部电极的栅孔并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生衍射；当可动电极在第三位置时，入射至光调制器像素单元的第三光线透过顶部电极的栅孔并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生衍射，所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线，所述光栅的栅条和栅孔宽度相同，所述栅孔的宽度范围为0.1～5微米。