微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器及其制备方法

摘要

本发明的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器不但具有低损耗、高隔离度和良好的方向性，而且该微波功率耦合器具有紧耦合和松耦合两种工作状态。该结构以砷化镓为衬底，具有两个MEMS悬臂梁结构，它位于主微带线和过渡微带线之间的空隙中，其MEMS悬臂梁的锚区与主微带信号线相连接；悬臂梁下方具有驱动电极，在驱动电极上覆盖氮化硅介质层；在悬臂梁自由端下方具有带凸点的过渡微带信号线，且其凸点上没有氮化硅介质层。通过控制MEMS悬臂梁结构有无驱动电压，使MEMS悬臂梁处于DOWN或UP态，实现主微带线和过渡微带线是否形成电气连接，从而该微波功率耦合器实现紧耦合或松耦合状态。

主权项

一种微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器，制作在砷化镓衬底(18)上，在其上设有主微带信号线(5)，副微带信号线(6)，过渡微带信号线(7)，过渡微带信号线上的凸点(8)，MEMS悬臂梁(9)，MEMS悬臂梁的锚区(10)，驱动电极(11)，引线(12)，压焊块(13)，氮化硅介质层(14)，空气桥(15)，终端隔离电阻(16)以及被孤立的耦合微带线(20)，在衬底(18)下形成一个通孔(17)和在衬底背面有一层背金(19)，其特征该结构是该微波功率耦合器是一个四端口微波器件，其包括在主微带线(5)上的输入端口(1)和直通输出端口(2)，在副微带线(6)上的耦合输出端口(3)和隔离端口(4)；该耦合器具有两个MEMS悬臂梁结构，它位于主微带线(5)和过渡微带线(7)之间的空隙中。