Versorgungsendblock für ein Rohrmagnetron

摘要

Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputterkathode mit einem Kühlmittel und elektrischer Spannung, umfassend ein Gehäuse (1) mit einem Kühlmittelanschluss (21) und einem Stromanschluss (22) sowie einer drehbar gelagerten Trägerwelle (5), an welcher ein Targetrohr befestigt wird, bei dem der Kühlmittelanschluss (21) und der Stromanschluss (22) unmittelbar an der Einspeisestelle in den Versorgungsendblock so zusammengeführt sind, dass das Kühlmittel beim Eintritt in das Gehäuse (1) auf das Pocht wird und mindestens zwei radial auf die Trägerwelle (5) wirkende Schleifkontakte (42) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Schleifkontakt (42) durch mindestens einen Anschlussdraht (41) mit einem zur Trägerwelle (5) konzentrischen Kontaktring (4) verbunden ist.