蚀刻装置

摘要

本实用新型有关一种蚀刻装置，主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，前述吸引装置包括有一三通管，该三通管具有呈直线设置之第一管体、第二管体，第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且第一管体具有外大内小的锥形口，第二管体具有内小外大的锥形口，具有极佳的吸引效果，能有效摒除水池效应。

主权项

一种蚀刻装置，主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，喷射动力源连结蚀刻药液槽，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，其特征在于，所述吸引装置包括有三通管，该三通管具有呈直线设置的第一管体、第二管体，及第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且该第一管体具有外大内小的锥形口。